半导体行业应用集锦丨从搬运到封装史陶比尔机器人如何赋能洁净智造

半导体制造对洁净度、精度和可靠性要求极高。史陶比尔凭借*的技术实力，推出专为洁净室设计的六轴机器人，广泛应用于晶圆加工、掩膜版处理及后道工艺等环节。

史陶比尔CR/SCR机器人具备高负载能力、上海自动化仪表3厂低颗粒排放、内部走线设计，满足ISO 2至ISO 4级洁净标准。无论是FOUP搬运还是碳化硅晶圆处理，史陶比尔都能提供稳定可靠的自动化解决方案，助力客户实现高效生产与品质保障。

上海自动化仪表有限公司晶圆自动搬运

晶圆搬运是半导体制造中的关键环节，任何微小震动都可能造成损伤。史陶比尔与SÜSS MicroTec合作，上海仪表四厂打造基于六轴洁净室机器人的涂胶与显影系统，实现晶圆在拾取与嵌入过程中的无颤动搬运。机器人*轨迹控制，即使在高速运行下也能保持稳定，有效降低破片风险。其高洁净度设计确保晶圆在氧化、光刻、CMP等工艺中安全流转，保障产品良率。

晶圆洁净存储系统

在空间有限的洁净室中，如何高效存储高价值晶圆？史陶比尔与Fabmatics联合开发CubeStocker系统，采用TX2-90XL SCR六轴机器人为核心，实现200个晶圆盒的高密度存储。系统自带洁净空气供应，满足ISO洁净标准，紧凑设计可灵活部署于狭小空间。WWW.shSAIC.netCubeStocker不仅提升存储效率，更为晶圆生产提供洁净缓冲区，助力客户降本增效。

FOSB全自动封装

FOSB封装流程繁琐且易出错，史陶比尔与cts、WWW.shyb9.com/ GmbH联合开发ABT系统，打造高度集成的自动化封装解决方案。系统集成视觉识别、RFID参数读取、标签打印与质量检测，两台TX2-160洁净室机器人*完成内外袋封装与传送。该系统每月可处理8000个FOSB，显著提升产量与稳定性，有效降低人为失误与污染风险，全面满足半导体行业对洁净度与效率的双重要求。

晶圆清洗工序中的“无接触搬运”

在晶圆清洗环节，史陶比尔SCR净室机器人与德国红旗仪表有限公司厂PT WWW.shy118.com SpinTec公司合作，采用伯努利传输系统实现无接触搬运。机器人*操控，保障清洗效果一致性，有效提升产品良率。其紧凑设计节省空间，低颗粒排放符合ISO 2级标准，专为高洁净度环境打造。这一创新方案重新定义了晶圆清洗的安全与效率，为半导体制造注入新动能。

关于史陶比尔机器人

史陶比尔机器人事业部专注于高性能工业自动化解决方案，产品涵盖四轴和六轴工业机器人、移动机器人以及自动导引运输车（AGV）。这些机器人系统具备*的精度、速度与环境适应性，广泛应用于汽车制造、电子、医疗、食品、制药等高要求行业。

我们致力于帮助客户在工业4.0时代实现智能制造转型，满足复杂工艺流程下的自动化需求。